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    俄罗斯将自研光刻机！宣称比ASML便宜

      [  中关村在线 原创  ]   作者：八月八
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    news.zol.com.cn true https://news.zol.com.cn/929/9298922.html report 705 俄罗斯已经公布了自主开发EUV光刻机的路线图，其目标是制造出比ASML更便宜、更易制造的光刻机。该项目由俄罗斯科学院微结构物理研究所的Nikolay Chkhalo领导。俄罗斯的光刻机将采用11.2nm的激光光源，与ASML标准的13.5nm不同，这种波长的改变将提高分辨率20%，简化设计并...
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