5 月 28 日消息，在荷兰阿姆斯特丹当地时间昨日举行的公司 2025 年技术论坛欧洲场活动中，台积电负责业务开发及全球业务的资深副总经理兼副联席 COO 张晓强表示，目前暂无在先进制程中引入 High NA EUV 技术的必要。
他指出，台积电最新公布的 1.4nm 级逻辑制程 A14，即便未采用 High NA EUV 图案化设备，其性能提升依然显著。张晓强强调，台积电技术团队正持续通过工艺优化，在现有基础上进一步拓展 Low NA EUV 技术可覆盖的制程范围。只要该路径仍能持续推进，就没有必要在量产中采用成本高昂的 ASML High NA EUV 设备。
同时，他也提到，在三大先进制程厂商中，对 High NA EUV 技术态度最为积极的国际同行，如今在实际生产中也表现出谨慎倾向。与台积电 A14 制程相近的某 14A 工艺节点，也提供了是否使用 High NA EUV 的不同方案选择。
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