https://news.zol.com.cn/877/8779176.htmlnews.zol.com.cntrue中关村在线https://news.zol.com.cn/877/8779176.htmlreport457目前能够量产的制程工艺，最先进的是来自台积电的3nm。当然，台积电从ASML购买的设备，理论上不止3nm。从台积电公布的进度来看，后续会推出2nm和1.4nm。不过ASML正在研发的Hyper NA EUV光刻机，将会将工艺推进到0.2nm。Hyper NA EUV光刻机将会于2030年左右推出，官方称它...
