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    成本超21亿元!英特尔买了全球首台NA EUV光刻系统

      [  中关村在线 原创  ]   作者:八月八
    news.zol.com.cn true https://news.zol.com.cn/848/8481279.html report 641 光刻机到底有多贵,大家可能会猜测一亿元或者几亿元。最近ASML向英特尔交付了一台非常特殊的光刻系统,这是ASML向客户交付的首台数值孔径的极紫外光刻系统,数值孔径的极紫外对应NA EUV,是目前最先进的光刻系统。仅这一台光刻系统的成本就超过了21亿元。同时这台光刻系...
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