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    内存颗粒越发先进:三星用上10亿一台的EUV光刻机打造

      [  中关村在线 编译  ]   作者:编辑1

    继SK海力士宣布在M14和在建的M16工厂都引入EUV光刻机之后,三星也坐不住了。

    据三星介绍,自2014年以来,EUV光刻机参与的晶圆已超过400万片,公司积累了丰富的经验,比其他厂商掌握了更多的诀窍,领先对手一两年。

    内存颗粒越发先进:三星用上10亿一台的EUV光刻机打造
    内存颗粒越发先进:三星用上10亿一台的EUV光刻机打造

    据悉,三星的1z nm DRAM第三代内存使用了一层EUV,第四代1a nm将增加到四层。euv光刻胶的加入可以减少多重曝光工序,提供工艺精度,从而减少生产时间,降低成本,提高性能。

    SK海力士、美光等也在尝试euv,但如果层数太少,效率提升并不明显。即单价高。毕竟EUV光刻机买一台要10亿元。三星在这方面倒是有优势的。因为自己有晶圆厂,“东方不亮西方亮”,光刻机利用率很高。

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    news.zol.com.cn true //news.zol.com.cn/757/7579770.html report 704 继SK海力士宣布在M14和在建的M16工厂都引入EUV光刻机之后,三星也坐不住了。据三星介绍,自2014年以来,EUV光刻机参与的晶圆已超过400万片,公司积累了丰富的经验,比其他厂商掌握了更多的诀窍,领先对手一两年。内存颗粒越发先进:三星用上10亿一台的EUV光刻机打造据悉...
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