继SK海力士宣布在M14和在建的M16工厂都引入EUV光刻机之后,三星也坐不住了。
据三星介绍,自2014年以来,EUV光刻机参与的晶圆已超过400万片,公司积累了丰富的经验,比其他厂商掌握了更多的诀窍,领先对手一两年。
内存颗粒越发先进:三星用上10亿一台的EUV光刻机打造
据悉,三星的1z nm DRAM第三代内存使用了一层EUV,第四代1a nm将增加到四层。euv光刻胶的加入可以减少多重曝光工序,提供工艺精度,从而减少生产时间,降低成本,提高性能。
SK海力士、美光等也在尝试euv,但如果层数太少,效率提升并不明显。即单价高。毕竟EUV光刻机买一台要10亿元。三星在这方面倒是有优势的。因为自己有晶圆厂,“东方不亮西方亮”,光刻机利用率很高。